・高い研磨速度により、高い生産性を実現
・優れた研磨品質で、加工面のスクラッチを低減
・優れた分散安定性により沈殿しにくく、再分散が容易
・優れた研磨性能と長寿命を実現
・加工品の歩留まり向上に貢献
・ブルーガラス＆各種光学フィルターの高精度研磨
・液晶基板用光学ガラス高精度研磨
・光学レンズ高精度研磨、超低表面粗さ研磨
・フォトマスク、HDDディスク＆最終表面の高精度研磨
・監視カメラ用レンズの高精度研磨
・スクラッチのない高品質研磨
・洗浄性に優れ、残渣低減
・優れた分散安定性
・沈降しにくく再分散容易
・欠陥発生を効果的に抑制
・加工歩留まりを向上
Tel.06-6123-1110
営業時間 10:00-18:00 定休日：土・日曜日
粒子径御製
10～500nmの粒子径制御技術により、狭い粒度分布と優れた分散性を実現
粒子形状御製
球状・三角形・六角形・立方体など、多様な粒子形状を高精度に制御
多様な製造プロセス
焼成法・ゾル・ゲル法に対応し、複合粒子の開発にも取り組んでいます
一貫生産体制
精製から合成、焼成、分散、超精密ろ過まで、一貫生産体制を構築
評価条件
・使用装置：DSP両面研磨機（16B）
・研磨パッド：DuPont SUBA800
・基板：6インチSiCウェーハ ×14枚
・研磨時間：3時間
・プラテン回転数：35rpm
当社製品のプロセス別性能
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ロングテックプレシジョン(上海)は、両面ポリッシングおよびラッピング工程に特化した超精密キャリアの製造を専門としており、市場で最も厳しい厚み公差を実現した素材を提供しております。
ロングテックプレシジョンの厳格な生産体制により、お客様の急速に変化する製造環境に対応した、高度にカスタマイズされた製品とサービスの提供が可能です。
ロングテックプレシジョンのインサートキャリアは、以下をはじめとする各種両面ラッピングおよびポリッシング装置に対応しています。
浜井産業㈱、Speedfam、Peter Wolters、P.R. Hoffman、Spitfire、Norton、不二越㈱、Lapmaster、森永㈱、HRT、Melchiorre 他。
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研磨・ポリッシング キャリアー組込式
組込式の研磨・ポリッシング用キャリアは、ウェハーの研磨およびポリッシング工程で広く使用されており、ウェハーのエッジを損傷から保護し、チッピングを防止することで、歩留まりの向上に非常に効果的です。
| Model | Gear Model | Number Of Teeth | Outer Diameter | Pressure Angle |
|---|---|---|---|---|
| 17BM | M2.5 | 176 | 445.00 | 20 |
| 18BM | M3 | 150 | 456.00 | 20 |
| 20BM | M3 | 170 | 516.00 | 20 |
| 21BM | M3 | 177 | 537.00 | 20 |
| 22BM | M2.5 | 220 | 555.00 | 20 |
| 24BM | M4 | 152 | 616.00 | 20 |
| 26BM | M4 | 166 | 672.00 | 20 |
| 28BM | M4 | 178 | 720.00 | 20 |
| 30BM | M4 | 191 | 772.00 | 20 |
| 32BM | M5 | 162 | 820.00 | 20 |
| Model | Gear Model | Number Of Teeth | Outer Diameter | Pressure Angle |
|---|---|---|---|---|
| 2BM | M2 | 22 | 48.00 | 20 |
| 3BM | M2 | 34 | 72 | 20 |
| 3BM-45T | M1.5 | 45 | 70.5 | 20 |
| 4B-14.5 | M2 | 50 | 104.00 | 14.5 |
| 4BM | M2 | 50 | 104.00 | 20 |
| 4BM-80T | M1.25 | 80 | 102.50 | 20 |
| 5BM | M2 | 53 | 110.00 | 20 |
| 6BM | M2 | 70 | 144.00 | 20 |
| 9BM | M2 | 114 | 232.00 | 20 |
| 15BM | M3 | 128 | 390.00 | 20 |
Tel.06-6123-1110
営業時間 10:00-18:00 定休日：土・日曜日
貼付式キャリアは主にガラスとガラス製品に使用される。基材のポリッシング工程は、ガラスやその他の壊れやすい製品のエッジを保護し、欠けやその他損傷を防止します。
| Model | Gear Model | Number Of Teeth | Outer Diameter | Pressure Angle |
|---|---|---|---|---|
| 2B | DP12 | 21 | 48.68 | 20 |
| 3B | DP12 | 32 | 71.97 | 20 |
| 5B | DP12 | 50 | 110.07 | 20 |
| 6B | DP12 | 66 | 143.93 | 20 |
| 7B | DP12 | 85 | 184.15 | 20 |
| 9B | DP12 | 108 | 232.83 | 20 |
| 12B | DP12 | 134 | 287.87 | 20 |
| 13B | DP12 | 147 | 315.38 | 20 |
| Model | Gear Model | Number Of Teeth | Outer Diameter | Pressure Angle |
|---|---|---|---|---|
| 14B | DP12 | 172 | 368.30 | 20 |
| 15B | DP12 | 182 | 389.47 | 20 |
| 16B | DP12 | 200 | 427.07 | 20 |
| 2S | M1.25 | 38 | 50 | 20 |
| 3S | M1.25 | 55 | 71.25 | 20 |
| 5S | M1.5 | 70 | 108.00 | 20 |
| 6S | M1.5 | 90 | 142.50 | 20 |
Tel.06-6123-1110
営業時間 10:00-18:00 定休日：土・日曜日
DLC 両面ポリッシングキャリアは300mmシリコンウェハーの研磨に特に使用され、その極めて高い硬度、優れた耐摩耗性、およびMOE(弾性率/ COF(摩擦係数)などの独自の特性の恩恵を受けています。
Tel.06-6123-1110
営業時間 10:00-18:00 定休日：土・日曜日
・12インチウェハー全自動ロード/アンロード
・Lapper内蔵洗浄（超音波＋ブラシ＋乾燥）
・インサイチュ Dry-in / Dry-out対応
・SECS/GEM対応・データ可視化／トレーサビリティ
・AGV/OHT対応インターフェース
クローズドタイプ
✓ 5S・クリーン環境対応
△ 装置コスト増加
＊折りたたみ機構によりLapper上盤交換作業を妨げない設計
オープンタイプ
✓ シンプルな構造
△ 加工粉塵による環境影響リスク
| Industrial Standards |
Long-Tech Order Code |
Wafer Size |
Square Blocking |
Frame ID |
Frame Thickness |
Hardness | Surface Finish |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| DISCO | |||||||
| 2-12-1 | WF-012-S0* | 12' | 380mm | 350mm | 1.5mm | HRC47-53 | S01~S08 |
| 2-8-1 | WF-008-S0* | 8' | 276mm | 250mm | 1.2/1.5mm | HRC47-53 | S01~S08 |
| 2-6-1 | WF-006-S0* | 6' | 212mm | 194mm | 1.2/1.5mm | HRC47-53 | S01~S08 |
| 2-6 | WF-006-S0* | 6' | 195mm | 175mm | 1.0/1.2mm | HRC47-53 | S01~S08 |
| 2-5 | WF-005-S0* | 5' | 190mm | 165mm | 1.0/1.2mm | HRC47-53 | S01~S08 |
| K&S | |||||||
| 350-104 | WF-104-S0* | 8' | 266.7mm | 242.4mm | 1.2/1.5mm | HRC47-53 | S01~S08 |
| 350-103 | WF-103-S0* | 6' | 215.9mm | 192.5mm | 1.2/1.5mm | HRC47-53 | S01~S08 |
| 350-102 | WF-102-S0* | 5' | 184.15mm | 165.1mm | 1.0/1.2mm | HRC47-53 | S01~S08 |
| - | WF-800-S0* | 8' | 276mm | 255mm | 1.2mm | HRC47-53 | S01~S08 |
| - | WF-018-S0* | 18' | 556mm | 506mm | 2.0mm | HRC47-53 | S01~S08 |
Remark: S01→Shiny: S02→B Polish: S03→Hair-Line: S04→MattPolish: S05→RoundWire: S06→NickelPlated: S07→Mirror: S08→Electropolishing
Tel.06-6123-1110
営業時間 10:00-18:00 定休日：土・日曜日
六角形樹脂パッド
| LONG-TECH Order Code | Material | Color | Attachment Type | Equipment Machines | Overall Diameter (Imperial) | Application Category |
|---|---|---|---|---|---|---|
LTP-HRP-A101 | Resin | White | PSA | Biplanar Grinder | 640mm・940mm・1200-1290mm・Can be customized | Finishing or polishing for Sapphire,SiC・glassy materials and crystals... |
Tel.06-6123-1110
営業時間 10:00-18:00 定休日：土・日曜日
ダイヤモンド研磨パッド
Tel.06-6123-1110
営業時間 10:00-18:00 定休日：土・日曜日
Pグレード100mm 4/6/8インチ
新規提供4/6/8インチ| 項目 | 650V | 1200V | 1700V |
|---|---|---|---|
| 主用途 | MOSFET / SBD / JBS | MOSFET / SBD / JBS | MOSFET / PiN |
| 基板タイプ | 4H-SiC n型 | 4H-SiC n型 | 4H-SiC n型 |
| 抵抗率（Ω・cm） | 0.01–0.03 | 0.02–0.05 | 0.05–0.10 |
| マイクロパイプ | 0 | 0 | 0 |
| BPD密度（cm⁻²） | 0.5 | 0.2 | 0.1 |
| TSD / TED | 管理値以下 | 管理値以下 | 極低 |
| ウエハ径 | 150 / 200 mm | 150 / 200 mm | 150 / 200 mm |
| オフ角 | 4° ± 0.1° | 4° ± 0.1° | 4° ± 0.1° |
| 表面粗さ RMS | 0.2 nm | 0.15 nm | 0.1 nm |
| TTV | 5 µm | 4 µm | 3 µm |
| Bow / Warp | 30 µm | 30 µm | 25 µm |
Tel.06-6123-1110
営業時間 10:00-18:00 定休日：土・日曜日