ロングテック株式会社
製品情報
DLC Coated DSP Carrier
DLC 両面ポリッシングキャリアは300mmシリコンウェハーの研磨に特に使用され、その極めて高い硬度、優れた耐摩耗性、およびMOE(弾性率/ COF(摩擦係数)などの独自の特性の恩恵を受けています。
特徴
- 本体材質：ステンレス鋼・炭素鋼
- インサート材：ポリアミド、PVDF（ポリフッ化ビニリデン）— ステンレス鋼の強度とポリマーキャリアの特性を兼ね備えた構成
- 金属コンタミネーションなし
- DLCは、ステンレス鋼や炭素鋼の本体から金属が溶出・拡散するのを防止します。
- コーティング厚さ：2.5±1 μm
- 高硬度：2000HV
- 摩擦係数：0.045
- ウェハーのTTVおよびTIRの性能を改善する
お問い合わせ
Tel.06-6123-1110
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