製品情報

・12インチウェハー全自動搬送
・Lapper内蔵洗浄（超音波＋ブラシ＋乾燥）
・インサイチュ Dry-in / Dry-out対応
・SECS/GEM対応・データ可視化／トレーサビリティ
・AGV/OHT対応インターフェース

　　　　　　　　 クローズドタイプ
✓ 5S・クリーン環境対応
△ 装置コスト増加

＊折りたたみ機構によりLapper上盤交換作業を妨げない設計

                                 オープンタイプ
✓ シンプルな構造
△ 加工粉塵による環境影響リスク