ロングテック株式会社
製品情報
SiCウェハ
Pグレード100mm 4/6/8インチ
新規提供4/6/8インチSiCウエハ デバイス用途別 必要仕様一覧
| 項目 | 650V | 1200V | 1700V |
|---|---|---|---|
| 主用途 | MOSFET / SBD / JBS | MOSFET / SBD / JBS | MOSFET / PiN |
| 基板タイプ | 4H-SiC n型 | 4H-SiC n型 | 4H-SiC n型 |
| 抵抗率（Ω・cm） | 0.01–0.03 | 0.02–0.05 | 0.05–0.10 |
| マイクロパイプ | 0 | 0 | 0 |
| BPD密度（cm⁻²） | 0.5 | 0.2 | 0.1 |
| TSD / TED | 管理値以下 | 管理値以下 | 極低 |
| ウエハ径 | 150 / 200 mm | 150 / 200 mm | 150 / 200 mm |
| オフ角 | 4° ± 0.1° | 4° ± 0.1° | 4° ± 0.1° |
| 表面粗さ RMS | 0.2 nm | 0.15 nm | 0.1 nm |
| TTV | 5 µm | 4 µm | 3 µm |
| Bow / Warp | 30 µm | 30 µm | 25 µm |
お問い合わせ
Tel.06-6123-1110
営業時間 10:00-18:00 定休日：土・日曜日